半导体行业的废气特征和废气治理如何做？

 半导体是一种作为信息处理的元件材料。从科技或是经济发展等各方面的角度来看，半导体都是比较重要的存在。但是由于半导体工艺对于操作间的要求较高，生产过程中也难免会产生有机废气，那么半导体行业的废气特征和废气治理该如何做呢？

首先半导体行业的废气排放具有排气量大、排放浓度低的特点。产生的废气也属于VOCs有机废气，废气会逸散在生产车间内。

  半导体工业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量的有机成分。在此过程中，这些有机溶剂大部分挥发到废气中。目前，焚烧这种处理净化方式较为适用于这种气体排放。

  焚烧炉也广泛用于半导体工业，处理各种有机废气，并通过热氧化将有机物质转化为CO2和水。同时焚烧也是一种处理废气的好方法，有稳定的流量和浓度。在热氧化中，有机废气流被加热，气相中的有机物被氧化。为了节省燃料的使用，通常使用热交换器来回收焚烧产生的热量，以预热输入的气体。这种方法通常用于处理大流量、低浓度的气体。